专利详情

专利名称	一种真空高精度窗口的实现方法及其装置
申请号	CN201310180114.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103278904A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	杨飞;陈宝刚;王富国;张丽敏;明名
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I
专利有效期	一种真空高精度窗口的实现方法及其装置至一种真空高精度窗口的实现方法及其装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种真空高精度窗口的实现方法及其装置属于光机电工程技术领域，目的在于解决现有技术中真空窗口存在的面形精度低的问题。本发明构建一种阶梯压差式的真空窗口的实现方法，安装座通过螺钉固定到安装接口上，窗口玻璃A通过压圈及密封圈Ａ、密封圈B和密封圈C安装到镜座Ａ上，多个柔性调整旋钮A圆周均布在所述镜座A和所述安装座之间；窗口玻璃B通过压圈及密封圈安装到镜座Ｂ上，金属波纹管Ｂ与镜座Ｂ及镜座A之间采用密封圈进行密封安装，多个柔性调整旋钮B圆周均布在所述镜座A和所述安装座B之间；采用n块窗口玻璃Ａ或窗口玻璃Ｂ连续安装。本发明的高精度真空窗口的实现方法及其装置操作简单、面形精度高、结构简单、方便拆卸和维护。