专利详情

专利名称	一种折反式紫外光刻物镜
申请号	CN201310244143.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103278912A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远
主分类号	G02B13/14(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种折反式紫外光刻物镜至一种折反式紫外光刻物镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四正透镜、第二负透镜、第五正透镜、第六正透镜、第三负透镜、第七正透镜、第八正透镜；反射组包括第一反射镜、第二反射镜；第二透射组包括第九正透镜、第四负透镜、第十正透镜、第五负透镜、第十一正透镜、第十二正透镜、第十三正透镜、第十四正透镜、第十五正透镜、第十六正透镜、第十七正透镜、第十八正透镜、第十九正透镜。本发明数值孔径大、成像质量好等优点。