专利详情

专利名称	一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置
申请号	CN201310134849.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103278906A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	郭抗;巩岩;倪明阳;孙振
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置至一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置属于光刻投影物镜装调补偿与功能性补偿领域，目的在于解决现有技术存在的调节行程小、调节精度低和承载能力小的问题。本发明包括轴向微调组件、透镜组件、三个微位移驱动器和三个微位移传感器组件；所述透镜组件包括镜框和透镜，微位移传感器组件包括微位移传感器和传感器连接板，所述轴向微调组件包括镜筒、上柔性环片、下柔性环片和驱动环；通过微位移驱动器带动驱动环实现上下运动，实现上柔性环片和下柔性环片实现柔性变形，进而实现透镜的轴向微小调整。本发明采用柔性环片结构对透镜进行支撑和位移调节，具有较大调节行程和承载能力，三个微位移传感器同时控制，保证透镜的轴向调节精度。