专利详情

专利名称	一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料
申请号	CN201310234613.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103279011A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李志炜;张满;杨勇;胡松;邱传凯
主分类号	G03F7/075(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I
专利有效期	一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料至一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于100纳米的图案。