专利详情

专利名称	一种非球面光刻耦合物镜
申请号	CN201310178870.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103278913A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	范真节;邢廷文;林妩媚;白瑜;卢亮
主分类号	G02B13/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种非球面光刻耦合物镜至一种非球面光刻耦合物镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种非球面光刻耦合物镜，包括第一透镜组和第二透镜组通过机械组件按间距固定连接，在第一光轴上依次放置第一透镜组、第二透镜组和平面反射镜，平面反射镜的反射面位于第一光轴上并与第一光轴成一角度，依平面反射镜反射光线方向为第二光轴，并使第一光轴与第二光轴垂直，平面反射镜位于第二透镜组和第三透镜组之间，在第二光轴上放置第三透镜组；将物方表面置于第一透镜组的第一负透镜前表面顶点前方，物方视场主光线垂直入射第一透镜组，为物方远心，经第一透镜组折射后进入第二透镜组，第一透镜组和第二透镜组合起来为双高斯结构，第二透镜组出射光线经过平面反射镜反射进入第三透镜组；像方视场主光线垂直入射像面，为像方远心。