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轴锥镜面形和锥角的检测方法

  • 申请号:CN201310180723.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN103278105A
  • 公开(公开)日:2013.09.04
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 轴锥镜面形和锥角的检测方法
申请号 CN201310180723.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103278105A 公开(授权)日 2013.09.04
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰
主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I
专利有效期 轴锥镜面形和锥角的检测方法 至轴锥镜面形和锥角的检测方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种轴锥镜面形和锥角的检测方法,包括以下步骤:在短相干光源干涉仪输出的平行光束方向依次置入平面标准镜、待测轴锥镜和标准平面反射镜,所述的待测轴锥镜的平面朝向短相干光源干涉仪的出光方向;调整光路;调整所述的待测轴锥镜和所述的标准平面反射镜之间的距离,利用短相干光源干涉仪检测干涉条纹,求解待测轴锥镜的锥角和面形信息。本发明具有操作简单,易于实现对任意角度的轴锥镜的面形和锥角的测量等优点。

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