轴锥镜面形和锥角的检测方法
- 申请号:CN201310180723.X
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN103278105A
- 公开(公开)日:2013.09.04
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 轴锥镜面形和锥角的检测方法 | ||
| 申请号 | CN201310180723.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN103278105A | 公开(授权)日 | 2013.09.04 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰 |
| 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I |
| 专利有效期 | 轴锥镜面形和锥角的检测方法 至轴锥镜面形和锥角的检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种轴锥镜面形和锥角的检测方法,包括以下步骤:在短相干光源干涉仪输出的平行光束方向依次置入平面标准镜、待测轴锥镜和标准平面反射镜,所述的待测轴锥镜的平面朝向短相干光源干涉仪的出光方向;调整光路;调整所述的待测轴锥镜和所述的标准平面反射镜之间的距离,利用短相干光源干涉仪检测干涉条纹,求解待测轴锥镜的锥角和面形信息。本发明具有操作简单,易于实现对任意角度的轴锥镜的面形和锥角的测量等优点。 | ||
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