专利详情

专利名称	基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
申请号	CN201310189054.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103274351A	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	陈德勇;邓涛;王军波;何文涛;范云洁;王鹏
主分类号	B81B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;G01V13/00(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法至基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改变电极层和绝缘层通孔的数量和大小以便改变流阻进而调整电化学地震检波器的灵敏度及噪声等特性，适应不同应用需求；基于本发明提出的制造方法能有效降低工艺难度，有利于实现电极敏感核心的批量化制造，制造的电极敏感核心具有良好的一致性。