专利详情

专利名称	一种用于EUV真空环境中的电子学装置
申请号	CN201310172932.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103268058A	公开（授权）日	2013.08.28
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	宗明成;孙裕文;徐天伟;黄有为
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种用于EUV真空环境中的电子学装置至一种用于EUV真空环境中的电子学装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种用于EUV真空环境中的电子学装置，位于一真空腔中，所述真空腔用于提供EUV光存在环境，所述电子学装置包括：一电子学系统，所述电子学系统位于所述真空腔内，且所述电子学系统用于实现EUV光刻系统的电子学功能；一密封壳体，所述密封壳体位于真空腔内，且所述密封壳体用于密封所述电子学系统，阻挡所述电子学系统所形成的污染物进入所述真空腔中。该装置能够有效的避免电子学系统产生的污染物进入EUV真空腔中，减少了对EUV真空环境的污染，保证了EUV光的传输效率；通过温控器和导热件对密封壳体内的电子学系统的控温作用，保证电子学系统的正常工作。