点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
- 申请号：CN201310126148.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103267629A
- 公开(公开)日：2013.08.28
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 | ||
| 申请号 | CN201310126148.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103267629A | 公开（授权）日 | 2013.08.28 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;王向朝;张国先;万修龙 |
| 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 至点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种点衍射干涉波像差测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构简单、相移元件不产生系统误差、高干涉条纹可见和可标定系统误差的优点。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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