专利详情

专利名称	基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法
申请号	CN201210036092.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103258954A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青;陈鑫;詹爽
主分类号	H01L51/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/00(2006.01)I
专利有效期	基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法至基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器及其制作方法，该气敏传感器从下往上依次为：衬底、下电极、敏感膜和上电极；其中，该敏感膜位于下电极与上电极之间，其截面部分被暴露出来，使得气体在该截面处同敏感膜作用，充分发挥出敏感膜的敏感特性。本发明提供的基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法，相比于传统的平面敏感膜，具有立体敏感的性质，易于被测气体与所有敏感膜的接触，极大的发挥了敏感膜的层间作用，实现在常温或高温下对特殊气体敏感的功能。