专利详情

专利名称	一种对衍射孔的定位装置和定位方法
申请号	CN201310219983.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103256889A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	徐富超;许嘉俊;邢廷文
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种对衍射孔的定位装置和定位方法至一种对衍射孔的定位装置和定位方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法，定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。