专利详情

专利名称	用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置
申请号	CN201310148644.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103259160A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	刘斌;丁金滨;王魁波;沙鹏飞;周翊;王宇;赵江山
主分类号	H01S3/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/03(2006.01)I;H01S3/034(2006.01)I
专利有效期	用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置至用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，其具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。本发明在拆换出光窗片时可以保证有毒的工作气体不会泄漏，同时保证不会有空气进入钝化好的放电腔内，从而提高工作效率，节约气体成本。