专利详情

专利名称	薄膜电池的制作方法以及薄膜电池
申请号	CN201310156172.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103258909A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	张瑞英
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I
专利有效期	薄膜电池的制作方法以及薄膜电池至薄膜电池的制作方法以及薄膜电池	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种薄膜电池的制作方法以及薄膜电池。所述方法包括如下步骤：在导电衬底上沉积电池层；在电池层上形成纳米光栅制备需要的纳米图案；在上述纳米图案做为掩模的保护下，在电池层的表面形成纳米光栅；在电池层的纳米光栅表面形成PN结；在PN结表面制备顶电极；在电池层的窗口区沉积介质膜，以钝化纳米光栅，形成完整的叠层纳米光栅结构；在导电衬底未沉积电池层的一侧制备背面电极。本发明的优点在于，在纳米级织构化电池表面沉积介质膜，以有效钝化其表面非辐射复合中心，且不破坏其高效陷光效应，从而使得纳米结构真正应用于太阳电池，提高电池效率，实现电池高性价比。