专利详情

专利名称	一种光刻机的自动调焦方法
申请号	CN201310184561.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103257533A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	韩希珍;赵建;孙强
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B7/36(2006.01)I
专利有效期	一种光刻机的自动调焦方法至一种光刻机的自动调焦方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机的自动调焦方法，涉及包括图像的平均调焦评价函数的计算方法和调焦机构的自动运行方法。其中平均调焦评价函数的计算方法主要采用分块的形式，以变步长平移子块，粗调焦时平移步长增大，细调焦时平移步长减小，并采用连续多帧图像的多重平滑方法得到最终的平均调焦评价函数。调焦机构的自动运行方法采用改进的爬山法，将当前位置的平均调焦评价函数与前两个步长的平均调焦评价函数进行比较，根据比较结果决定调焦机构正向运行或者反向运行。再根据调焦步长与所要求的调焦精度的关系判断是否调焦结束。本发明方法具有运算速度快、灵敏度高、精度高、抗干扰能力强、稳定性好的特点。