专利详情

专利名称	涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法
申请号	CN201310200103.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103255399A	公开（授权）日	2013.08.21
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	金花子;吴杰;南泉;熊天英
主分类号	C23C18/36(2006.01)I	IPC主分类号	C23C18/36(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I
专利有效期	涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法至涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及洁净的真空系统获得表面防护领域，具体为一种涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法。采用化学镀、氟涂料和真空离子镀（PVD）对涡旋干泵实施防护涂层，对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层，对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。本发明方法应用于涡旋干泵可以提高真空泵的耐腐蚀性和耐磨性能，在高腐蚀性气体等离子刻蚀、生物制药和科学仪器的真空获得系统中，防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀，提高涡旋干泵的使用寿命。