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偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪

  • 申请号:CN201110427774.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN102519357A
  • 公开(公开)日:2012.06.27
  • 法律状态:公开
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪
申请号 CN201110427774.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102519357A 公开(授权)日 2012.06.27
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜;闫爱民
主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I
专利有效期 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 至偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 法律状态 公开
说明书摘要 一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪,由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成,本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点,还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响,提高了仪器的测量精度和稳定性。

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