偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪
- 申请号:CN201110427774.9
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN102519357A
- 公开(公开)日:2012.06.27
- 法律状态:公开
- 出售价格: 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 | ||
| 申请号 | CN201110427774.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN102519357A | 公开(授权)日 | 2012.06.27 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜;闫爱民 |
| 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I |
| 专利有效期 | 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 至偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 | 法律状态 | 公开 |
| 说明书摘要 | 一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪,由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成,本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点,还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响,提高了仪器的测量精度和稳定性。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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