专利详情

专利名称	大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法
申请号	CN201110334852.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102519388A	公开（授权）日	2012.06.27
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝坤;黎发志;郑立功;张学军
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法至大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明涉及一种大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法，该方法包括如下步骤：利用与待测非球面反射镜基准子孔径区域面形相应的计算全息元件对基准子孔径区域进行零位补偿干涉测量；利用与待测非球面反射镜离轴子孔径区域面形相应的计算全息元件对离轴子孔径区域进行零位补偿干涉测量：求解待测凸非球面反射镜全口径面形分布；将各离轴子孔径在xyz坐标系内的坐标换算为XYZ坐标系下的坐标，通过计算得到待测凸非球面反射镜全孔径相位分布；从全口径相位分布中剔去系统调整误差获得待测凸非球面反射镜全口径面形误差分布。本发明数据处理和数学运算简单，实验操作简单易行，检测成本很低，测试时间短。