专利详情

专利名称	一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置
申请号	CN201220742372.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203128648U	公开（授权）日	2013.08.14
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	李晓军;方英;宋志伟
主分类号	C23C14/30(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/30(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I
专利有效期	一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置至一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置。所述装置从上至下依次包括驱动马达、传动杆、磁驱动部件及衬底固定盘架；所述磁驱动部件与衬底固定盘架之间设有冷却密封部件，所述磁驱动部件通过转动杆连接衬底固定盘架。所述电子束蒸镀装置安装有衬底冷却装置。本实用新型所述的衬底冷却装置及电子束蒸镀装置具有结构简单、合理，操作容易的特点，可以有效防止Lift-off工艺中光刻胶图案因升温而导致的热胀变形或者熔融，使得所制备的微纳图形满足设计的要求，减少由于设备原因对样品造成的误差或者破坏。