专利详情

专利名称	一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟
申请号	CN201320057163.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203128690U	公开（授权）日	2013.08.14
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	邱锋;胡淑红;孙常鸿;王奇伟;吕英飞;郭建华;邓惠勇;戴宁
主分类号	C30B19/06(2006.01)I	IPC主分类号	C30B19/06(2006.01)I
专利有效期	一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟至一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟	法律状态	授权
说明书摘要	本专利公开了一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟，该石墨舟包括盖板、母液舟、滑板和底座。该专利的特征是盖板为分离的，每个都能很严实地盖在母液舟上而不易滑动，同时液槽的空隙部分如同一个楔形，较低位置处是一个很窄的狭缝，从而减少熔源与衬底的接触时间，实现低维结构超薄材料的液相外延近平衡态生长，而且衬底滑板正反面各有一个不同深度的衬底槽，适合不同衬底厚度情况或因为衬底厚度误差带来的衬底槽过深或太浅的情况，底座有回收母液的回收槽，便于母液的多次使用。本专利的优点是：采用液相外延技术实现超薄外延层或常规厚膜生长，近平衡态生长的超纯外延层为设计新型材料和构建新型器件提供了一个新的研究方向。