专利详情

专利名称	红外探测器用多工位真空排气装置
申请号	CN201320057943.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203130430U	公开（授权）日	2013.08.14
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	曹岚;张海燕;朱宪亮;庄馥隆;陆华杰;龚海梅
主分类号	F04B41/00(2006.01)I	IPC主分类号	F04B41/00(2006.01)I
专利有效期	红外探测器用多工位真空排气装置至红外探测器用多工位真空排气装置	法律状态	授权
说明书摘要	本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。