专利详情

专利名称	用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
申请号	CN201310146354.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103246040A	公开（授权）日	2013.08.14
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙振;郭抗;巩岩;华洋洋;倪明阳;李显凌
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构至用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口镜片粘接到镜框中，更换时镜框与镜片同时更换。拆卸时为了降低磁钢对定位球头的吸附，将定位槽设计为环向斜面，利于拆卸。定位槽滑轨上的圆锥凹槽用于实现高精度重复定位，便于安装。本发明具有结构简单、便于安装和拆卸、无需安装螺钉、吸附力可调整等优点；由于镜框紧固不需要螺钉，避免了安装和拆卸过程中由于螺钉意外跌落对镜片台面的潜在威胁。