专利详情

专利名称	基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
申请号	CN201310188648.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103235337A	公开（授权）日	2013.08.07
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	王军波;邓涛;陈德勇;何文涛;范云洁;王鹏
主分类号	G01V1/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01V1/18(2006.01)I
专利有效期	基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法至基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法，所述电化学地震检波器包括：固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心；所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间，且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封；所述弹性膜置于每个所述外壳与固定圈之间，以实现固定圈与外壳之间的密封，所述外壳与所述固定圈之间通过机械方式固定。电极敏感核心采用MEMS加工技术制造出来后，将其密封在小的密封件中，再将小的密封件密封在大的外壳中，最后用螺丝加固完成整个检波器的封装。所有的硬接触面之间均放置一层软垫，螺丝加固时，软垫发生形变，实现机械密封。