专利详情

专利名称	一种提高基材表面氮化物硬质涂层光亮度及硬度的方法
申请号	CN201310113107.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103233199A	公开（授权）日	2013.08.07
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪爱英;孙丽丽;张栋;陈仁德;柯培玲
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	一种提高基材表面氮化物硬质涂层光亮度及硬度的方法至一种提高基材表面氮化物硬质涂层光亮度及硬度的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种提高基材表面氮化物硬质涂层光亮度及硬度的一种方法，该方法待基材表面沉积氮化物硬质涂层后，利用惰性等离子体对该氮化物硬质涂层表面进行刻蚀，一方面惰性等离子体不会引起涂层的相结构转变，从而保持了涂层原有的化学性能；另一方面惰性等离子体的高能量改善了涂层致密度，进而同时改善了涂层光亮度。实验证实，本发明是一种改善基材表面氮化物硬质涂层色泽度与硬度的行之有效的方法，具有良好的应用前景。