专利详情

专利名称	一种样品架
申请号	CN201310138813.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103233209A	公开（授权）日	2013.08.07
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	赵德胜;张永红;黄宏娟;张宝顺
主分类号	C23C14/50(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I
专利有效期	一种样品架至一种样品架	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种样品架，包括用于承载样品的样品放置架、用于调节样品表面的一选定点与蒸发源距离的距离调节机构、以及用于调节蒸发源的表面法线与蒸发源和样品表面的一选定点的连线之间的夹角的角度调节机构。距离调节机构经一中空固定架与角度调节机构固定连接，样品放置架经角度调节机构与中空固定架固定连接。距离调节机构可通过伸缩机构调节样品与蒸发源的距离及其在轴向上的稳定性，角度调节机构利用丝杆螺母配合调节角度值，并由刻度盘和刻度指针显示所调节角度值。本发明结构简单，能够与现有的蒸镀样品架及膜厚控制系统兼容，满足蒸镀工艺均匀性与蒸发速率可控性的要求，节省蒸发材料，降低成本。