专利详情

专利名称	圆筒式成膜装置
申请号	CN201310161256.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103230858A	公开（授权）日	2013.08.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王俊;王高中;张赛锋;张晓燕;董宁宁;张龙
主分类号	B05C3/10(2006.01)I	IPC主分类号	B05C3/10(2006.01)I
专利有效期	圆筒式成膜装置至圆筒式成膜装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种圆筒式成膜装置，其特点在于：包括一个敞口式的圆筒式腔体、一个圆形衬底、第一提拉勾、第二提拉勾和具有孔的圆盘形盖，所述的圆筒式腔体的内壁和内底设有相对的第一凹槽和第二凹槽，所述的第一凹槽和第二凹槽分别用于安放第一提拉勾和第二提拉勾，所述的圆形衬底的表面粗糙度低于3nm/(1mm×1mm)，所述的圆形衬底外径比圆筒式腔体的内径小0.05mm到1mm，所述的圆形衬底水平地置于所述的圆筒式腔体内底和所述的第一提拉勾和第二提拉勾上，所述的圆盘形盖盖在所述的圆筒式腔体的口上。本发明装置的成膜面的粗糙度低于20nm/(1mm×1mm)，能控制溶剂蒸发的速率，使固化在培养皿上的薄膜容易分离，不损坏培养皿和薄膜。