一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法
- 申请号:CN201310092620.8
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:广州中国科学院先进技术研究所
- 公开(公开)号:CN103217728A
- 公开(公开)日:2013.07.24
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201310092620.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN103217728A | 公开(授权)日 | 2013.07.24 |
| 申请(专利权)人 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 发明(设计)人 | 邸思;金建;姚豫培;陈贤帅;杜如虚 |
| 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法 至一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法,属于光学领域。所述方法包括:在基底上制备不同的滤光区域;将基底进一步曝光;在基底上光刻出圆柱形图案;利用光刻胶热熔法,制备微透镜阵列。本发明通过颜色光阻剂结合传统的光刻法,利用掩膜板的对准标记,在基底上制作好具有滤光功能的滤光区域,然后直接在该区域以热熔法制作微透镜阵列,使得该微透镜集成滤光功能,减少了一层滤光片结构,集成度高,有利于提高成像质量,同时也避免了滤光片与微透镜阵列对准集成的问题。并且可以应用于多谱成像系统中,实现单色成像和彩色重构,并大大降低系统复杂度和成本,制作工艺简单,工艺新颖,成功率高。 | ||
交易流程
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