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一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法

  • 申请号:CN201310092620.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:广州中国科学院先进技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103217728A
  • 公开(公开)日:2013.07.24
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法
申请号 CN201310092620.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103217728A 公开(授权)日 2013.07.24
申请(专利权)人 广州中国科学院先进技术研究所 发明(设计)人 邸思;金建;姚豫培;陈贤帅;杜如虚
主分类号 G02B3/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期 一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法 至一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种具有滤光功能的微透镜阵列及其制备方法,属于光学领域。所述方法包括:在基底上制备不同的滤光区域;将基底进一步曝光;在基底上光刻出圆柱形图案;利用光刻胶热熔法,制备微透镜阵列。本发明通过颜色光阻剂结合传统的光刻法,利用掩膜板的对准标记,在基底上制作好具有滤光功能的滤光区域,然后直接在该区域以热熔法制作微透镜阵列,使得该微透镜集成滤光功能,减少了一层滤光片结构,集成度高,有利于提高成像质量,同时也避免了滤光片与微透镜阵列对准集成的问题。并且可以应用于多谱成像系统中,实现单色成像和彩色重构,并大大降低系统复杂度和成本,制作工艺简单,工艺新颖,成功率高。

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