专利详情

专利名称	一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件
申请号	CN201210019543.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103219918A	公开（授权）日	2013.07.24
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	赵湛;吴少华;杜利东;郭丽君;方震
主分类号	H02N2/18(2006.01)I	IPC主分类号	H02N2/18(2006.01)I
专利有效期	一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件至一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件，涉及降噪技术与能量收集技术，包括微穿孔硅片、导电支架、敏感压电薄膜、引出电极、薄膜支撑体。微穿孔硅片是吸声降噪的结构；导电支架既可形成共振吸声结构所需的空腔，又可作为连接压电薄膜上电极的结构；下方具有压电薄膜的硅片一方面将共振腔封闭，另一方面硅片上悬空的压电薄膜能够在声波的作用下不断振动，产生极化电荷，并通过上下两层薄膜电极将电荷收集起来。本发明利用微机械电子加工技术，将硅片制作成微穿孔板结构以降低噪声，同时将噪声中所包含的声能作为能量收集器件的能量来源，将声能转化为电能，使降噪与发电互为促进，具有结构简单、可批量制备的特点。