激光束引导的液滴靶控制系统
- 申请号：CN201310139421.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103217870A
- 公开(公开)日：2013.07.24
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 激光束引导的液滴靶控制系统 | ||
| 申请号 | CN201310139421.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103217870A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 冷雨欣;王乘;赵全忠;向世清;李儒新 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I |
| 专利有效期 | 激光束引导的液滴靶控制系统 至激光束引导的液滴靶控制系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种激光束引导的液滴靶控制系统，包括液滴喷嘴、高功率泵浦激光器、第三聚焦透镜和延时脉冲发生器，其特点在于还包括激光光源、第一反射镜、半波片、布儒斯特角偏振片、四分之一波片、第二反射镜、第一聚焦透镜、真空管、第二聚焦透镜、环形平面反射镜和环形聚焦透镜。本发明能精确控制20微米量级的金属液滴的下落轨迹，并可调节液滴下落速度，该系统工作长期稳定，确保液滴与高功率泵浦激光的时间同步和空间重合。 | ||
交易流程
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专利 -
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