一种硅片缓冲装载装置
- 申请号：CN201210479223.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN103217130A
- 公开(公开)日：2013.07.24
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种硅片缓冲装载装置 | ||
| 申请号 | CN201210479223.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103217130A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 |
| 申请（专利权）人 | 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 吴文镜;李国光;赵江艳 |
| 主分类号 | G01B11/30(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/30(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01N21/47(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种硅片缓冲装载装置 至一种硅片缓冲装载装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种硅片缓冲装载装置，属于硅片样品光学测量技术领域。该装置包括硅片样品台和吸盘，吸盘与硅片样品台相配合，硅片样品台具有底座，还包括缓冲机构，缓冲机构连接于底座，缓冲机构包括接触平台和升降机构，接触平台固定连接于升降机构，接触平台在升降机构的带动下升降。该装置在对硅片样品进行装载时，机械手与硅片样品台能够实现任意装载，并且，装载过程简单、装载稳定。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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