专利详情

专利名称	尾气回收系统及其换热器
申请号	CN201310122377.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103212270A	公开（授权）日	2013.07.24
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	朱建军;周礼誉;张永红
主分类号	B01D53/00(2006.01)I	IPC主分类号	B01D53/00(2006.01)I;F25J3/08(2006.01)I;F25J5/00(2006.01)I;C01C1/12(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I
专利有效期	尾气回收系统及其换热器至尾气回收系统及其换热器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及半导体制作技术，提供一种换热器，用于尾气处理，其包括尾气通道，所述尾气通道由若干条具有共同入口和出口的第一支管构成；填充有吸热流体的吸热通道，所述吸热通道包括与所述第一支管数量相当的第二支管，所述第一支管嵌套于所述第二支管内，用于所述吸热流体与尾气进行热交换。本发明还提供采用这种换热器组装的尾气回收系统。本发明不仅解决了MOCVD尾气对环境的污染问题，节省原材料消耗，降低成本，还能实现尾气零排放，促进半导体照明产品早日替代传统照明产品，实现绿色环保的目标。