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一种用于低能重离子的束团参数测量系统,以及一种频率谐振选能能量测量方法

  • 申请号:CN201310161430.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海应用物理研究所
  • 公开(公开)号:CN103207405A
  • 公开(公开)日:2013.07.17
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于低能重离子的束团参数测量系统,以及一种频率谐振选能能量测量方法
申请号 CN201310161430.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103207405A 公开(授权)日 2013.07.17
申请(专利权)人 中国科学院上海应用物理研究所 发明(设计)人 袁任贤;周伟民;冷用斌;陈之初;陈杰;叶恺容;俞路阳;阎映炳
主分类号 G01T1/29(2006.01)I IPC主分类号 G01T1/29(2006.01)I
专利有效期 一种用于低能重离子的束团参数测量系统,以及一种频率谐振选能能量测量方法 至一种用于低能重离子的束团参数测量系统,以及一种频率谐振选能能量测量方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种用于低能重离子的束团参数测量系统,以及一种频率谐振选能能量测量方法。该测量系统包括:步进电机驱动平台,真空内测量探头,数据采集系统以及外部激励源,所述真空内测量探头包括:前、后位置选择狭缝,前、后平板激励电极,以及法拉第筒;其中,真空内测量探头装载于步进电机驱动平台上,外部激励源分别与前、后平板激励电极电连接,数据采集系统与法拉第筒相连。本发明通过将能量测量转化为频率测量,采用法拉第筒测量离子的通过概率取代常规能散度测量时对束团尺寸的测量,避免了空间电荷效应的干扰,显著提高测量分辨率;通过单一测量设备即可同时实现高分辨率的束团能散度、离子比、发射度三种参数的测量。

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