专利详情

专利名称	相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法
申请号	CN201310086106.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103207023A	公开（授权）日	2013.07.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	马冬梅;邵晶
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法至相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法，涉及光学测试过程中系统误差的标定领域，该方法通过对不同状态下的测量值进行差值分析，最终消除系统误差，获得真实的波前信息。该方法包括将光学采集系统放置在精密调整机构上，测量相应的波前信息，并将当前位置设为初始位置，再次调整精密调整机构使光学采集系统至不同的位置状态分别进行测量；将不同位置的测量结果使用泽尼克多项式拟合，分别减去初始位置的波前相位测量结果，建立方程，求解泽尼克系数，获得真实的被测波前信息。本发明通过采用绝对标定的方式，完全消除光学放大系统引入的系统误差，实现高精度检测。