专利详情

专利名称	一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法
申请号	CN201210013248.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103203925A	公开（授权）日	2013.07.17
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	汤佳杰;罗乐;徐高卫
主分类号	B32B27/00(2006.01)I	IPC主分类号	B32B27/00(2006.01)I;B32B3/14(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法至一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，该方法首先提供一衬底，在所述衬底表面涂覆一层粘附剂；而后在所述粘附剂的表面涂覆光敏BCB，并光刻所述光敏BCB直至暴露出衬底，按前述相同手段并根据所需层数制备出至少一层的多个光敏BCB单元，形成作为介质层的BCB薄膜。本发明一方面减少升温降温过程中出现的热应力，降低了热应力对整片衬底的翘曲影响，同时由于光敏BCB单元间的热应力减少，从而单个光敏BCB单元产生的裂纹或其它可靠性问题不会蔓延到所有光敏BCB单元；另一方面，光刻形成的无BCB覆盖的槽，可作为划片道使用，以减少在划片时出现的BCB脱落的情况，即在不增加成本的前提下，有效地提升了可靠性。