光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法
- 申请号：CN201310126184.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103197511A
- 公开(公开)日：2013.07.10
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 | ||
| 申请号 | CN201310126184.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103197511A | 公开（授权）日 | 2013.07.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 谢承科;陈明;杨宝喜;黄惠杰 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 至光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、能量线性度和频率线性度进行高精度测量；本发明具有测量方法简单、易实现，成本低的特点。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言