专利详情

专利名称	一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y₃Al₅O₁₂涂层的方法
申请号	CN201210001926.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103194715A	公开（授权）日	2013.07.10
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王文东;黄春;闫坤坤;夏洋
主分类号	C23C4/12(2006.01)I	IPC主分类号	C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I
专利有效期	一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y₃Al₅O₁₂涂层的方法至一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y₃Al₅O₁₂涂层的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种大气等离子体喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法，属于等离子喷涂技术领域。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，将Al2O3粉末和Y2O3粉末均匀混合，造粒得到Y3Al5O12粉末；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过大气等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出非晶Y3Al5O12涂层。本发明使用大气等离子喷涂方法来制备非晶Y3Al5O12耐侵蚀陶瓷涂层，通过调节喷涂参数，获取优化的工艺条件进行喷涂，从而得到性能良好的非晶Y3Al5O12涂层。

交易流程

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4、专员跟进，交易保障

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