专利详情

专利名称	一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法
申请号	CN201310092121.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103197416A	公开（授权）日	2013.07.10
申请（专利权）人	广州中国科学院先进技术研究所	发明（设计）人	李凯格;张弓;陈贤帅;王映品;周雪峰;梁济民;孙克争
主分类号	G02B26/10(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/10(2006.01)I;G02B7/198(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I
专利有效期	一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法至一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种两自由度高速并联扫描平台及垂直度误差校准方法，包括机壳和安装于机壳内的直线驱动机构、反射镜轴机构、反射镜活动框架和PSD位置传感器。本发明实施例提供的一种两自由度高速并联扫描平台采用单反射镜结构，只需一次反射即可完成扫描工作，避免了双镜反射带来的误差放大效应。同时，本发明采用两输入两输出结构，控制上较现有技术容易很多；还采用了三组X-Y框架式结构，可以有更大的刚度和偏转角度；又由于采用了二维PSD位置传感器作为反射镜法向位置的反馈装置实现全闭环，可以达到很高的精度。本发明提供的一种两自由度高速并联扫描平台具有精度高、刚度大，承载能力强的特点。