专利详情

专利名称	铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置
申请号	CN201220729897.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203038961U	公开（授权）日	2013.07.03
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院;香港中文大学	发明（设计）人	宋秋明;张军;李朝辉;顾光一;陈旺寿;方刚;谭兴;吕文博;肖旭东
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I
专利有效期	铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置至铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置	法律状态
说明书摘要	一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化，包括退火炉、盖体及加热灯管；所述退火炉为盒状结构，所述退火炉包括开口端；所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端，所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔；所述加热灯管收容于所述退火腔中，并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中，加热灯管收容于退火腔中，退火腔密封且体积较小，使得退火腔中的温度较高，提高了硒的蒸汽压，节省了硒或硫的用料，降低了成本。同时，加热灯管更靠近基片，具有较高的升温速率，保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。