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一种微流控芯片的低温键合的方法

  • 申请号:CN201110444983.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103183310A
  • 公开(公开)日:2013.07.03
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种微流控芯片的低温键合的方法
申请号 CN201110444983.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103183310A 公开(授权)日 2013.07.03
申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 赵濉;黄海耀;靳志强;宫清涛;赵荣华
主分类号 B81C3/00(2006.01)I IPC主分类号 B81C3/00(2006.01)I
专利有效期 一种微流控芯片的低温键合的方法 至一种微流控芯片的低温键合的方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明属于微精细加工领域,涉及微流控芯片技术,特别涉及一种应用于普通实验室的微流控芯片的低温键合的方法。本发明的键合是在低温下完成的,整个操作过程在非超净环境下完成,简单实用,降低了制作成本,成品率高,非常适用于普通实验室的微流控芯片的制备。本发明采用外援胶类(如紫外光固化胶)封接,有效的保护了微流控芯片,使微流控芯片不在键合中遭到破坏。

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