专利详情

专利名称	一种半导体功率器件
申请号	CN201220652041.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203026509U	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司;江苏物联网研究发展中心	发明（设计）人	褚为利;朱阳军;田晓丽;卢烁今;陆江
主分类号	H01L29/06(2006.01)I	IPC主分类号	H01L29/06(2006.01)I;H01L29/36(2006.01)I
专利有效期	一种半导体功率器件至一种半导体功率器件	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种半导体功率器件，包括有源区、终端区及位于二者之间的主结，所述终端区包括终端结构，所述有源区包括基区，所述基区、主结、终端结构的掺杂类型相同，所述主结与所述有源区的基区同时形成，所述主结的结深与所述基区的结深相同，所述主结的掺杂浓度与所述基区的掺杂浓度相同，且所述主结的结深小于所述终端结构的结深，所述主结的掺杂浓度小于所述终端结构的掺杂浓度。主结的结深小于终端结构的结深，使主结与终端结构之间的区域能够承受的压降增加，主结的掺杂浓度降低，能够提高一定长度耗尽区承受的压降，这两个方面均能够提高器件的耐压能力，进而减小半导体功率器件的终端面积，降低了器件的生产成本。