专利详情

专利名称	一种包含新型放电腔的激光光源系统
申请号	CN201220461906.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203026784U	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇
主分类号	H01S3/032(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/032(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I
专利有效期	一种包含新型放电腔的激光光源系统至一种包含新型放电腔的激光光源系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种包含放电腔的激光光源系统，属于气体激光技术领域，解决了现有高压脉冲电源中，因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电腔由内、外两圈组成。所述外圈固定不动，安装有多个高压电源及电极，每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极。所述内圈由电机带着旋转，并且所述内圈上安装有多个电极，所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。本实用新型通过改变放电腔外圈的高压电源及电极数量和位置、放电腔内圈的电极数量和位置、内圈旋转速度、放电腔外圈的高压电源放电时序，使更大能量和更高重频的激光输出成为可能。