专利详情

专利名称	霍尔及气敏测量装置
申请号	CN201110442319.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103176146A	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	康升红;吴兵;李广海
主分类号	G01R33/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R33/12(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I
专利有效期	霍尔及气敏测量装置至霍尔及气敏测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种霍尔及气敏测量装置。它包括与导轨(10)动配合连接的基座(12)上置有的样品座和位于导轨(10)轨迹两侧的一对永磁体，样品座为与真空室(2)连通的样品室(3)，其中置有与测量部件(13)连接的接线器(4)和与测控部件(15)连接的电加热器(11)，真空室(2)分别与真空部件(14)和配气部件(1)相连通；一对永磁体为与电磁部件(9)连接的一对线圈(6)；真空部件(14)和配气部件(1)的控制端、电磁部件(9)的输入端与测控部件(15)的输出端连接，测控部件(15)的输入端与测量部件(13)的输出端连接。它能同时测试样品(5)的霍尔参数和气敏特性，以为研发纳米结构气敏传感器提供理论基础和指导意见。