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一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置

  • 申请号:CN201310066811.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN103175481A
  • 公开(公开)日:2013.06.26
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置
申请号 CN201310066811.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103175481A 公开(授权)日 2013.06.26
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 张星祥;任建岳
主分类号 G01B11/08(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/08(2006.01)I
专利有效期 一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置 至一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种离轴光学非球面镜顶点半径的非接触测量方法和装置,该测量方法包括以下步骤:利用离轴非球面镜上不同点法线与光轴交点不同的特性并结合光的反射镜定律和三角函数关系,求出离轴非球面镜上采用点的法线与光轴夹角、口径高度;根据非球面公式并求导,建立非球面几何参数与法线的数学模型;测量数据多点采样,并覆盖整个离轴非球面口径范围;根据数学模型,采用最小二乘方法进行数据处理和求解。本发明的离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置,能够解决离轴非球面镜顶点半径,包括二次系数、高次系数,无法测量或无法准确测量的技术难题。

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