专利详情

专利名称	单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法
申请号	CN201310066530.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103176231A	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	陈赟;王显军;李艳茹;张胜红;陈宝刚
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法至单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅，包括金属基底，镀在所述金属基底上的非反射层和反射层，非反射层与反射层均为铬膜，非反射层的厚度比反射层的厚度小。本发明还提供单层膜反射式平面金属光栅的制作方法。本发明的单层膜反射式平面金属光栅采用单层镀膜，制作出的光栅线条较细(≤10μm)、信号对比度大(＞2∶1)、非反射层和反射层的牢固度好、易于工程化，且制作方法简单、成本低。