专利详情

专利名称	碳化硅化学气相外延载物台装置
申请号	CN201110437215.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103173737A	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	朱明星;石彪;陈义;刘学超;杨建华;施尔畏
主分类号	C23C16/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/32(2006.01)I
专利有效期	碳化硅化学气相外延载物台装置至碳化硅化学气相外延载物台装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及化学气相沉积领域，具体涉及一种碳化硅化学气相外延载物台装置，该装置是分体式载物台装置，包括船型石英舟、石英托垫和石墨板。其中，船型石英舟前端为倾斜面，该倾斜面后为下凹平台面；石英托垫放置于石英舟下凹平台面上；石墨板放置于石英托垫上。本发明所述分体式载物台装置可用在水平式化学气相沉积反应室内，通过感应加热石墨板。本发明的优势在于：①沉积反应的气体流场和源物质分布均匀，气流扰动小；②对于大面积衬底，可以优化外延膜厚均匀性；③分体式设计可以降低使用成本并增加应用灵活性。