专利详情

专利名称	一种多晶硅的制备方法
申请号	CN201310131297.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103172070A	公开（授权）日	2013.06.26
申请（专利权）人	中国科学院青海盐湖研究所	发明（设计）人	王舒娅;王树轩;邹兴武;祁米香;杨占寿
主分类号	C01B33/035(2006.01)I	IPC主分类号	C01B33/035(2006.01)I
专利有效期	一种多晶硅的制备方法至一种多晶硅的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种多晶硅的制备方法，该方法包括以下步骤：⑴制备锌蒸汽；⑵制备三氯氢硅/四氯化硅蒸汽；⑶锌蒸汽和三氯氢硅/四氯化硅蒸汽在硅芯棒表面发生化学沉积反应，生成固相硅并产生尾气A；⑷降温、分离尾气A，得到尾气B和液态氯化锌；⑸降温、分离尾气B，得到尾气C和液态三氯氢硅/四氯化硅；⑹尾气C与四氯化硅输入至HCL吸收塔内，通过喷淋四氯化硅吸收氯化氢，得到带有氯化氢的四氯化硅；⑺加热解析、分离带有氯化氢的四氯化硅，得到氯化氢和四氯化硅；⑻氯化氢与硅粉发生反应，得到提纯分离后的三氯氢硅/四氯化硅；⑼重复步骤⑵~⑻；⑽当硅芯棒直径达到120~180mm后，对硅芯棒进行降温，即得多晶硅。本发明工艺路线简洁、可实现连续反应。