专利详情

专利名称	薄膜太阳能电池退火装置
申请号	CN201220741993.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203013779U	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院;香港中文大学	发明（设计）人	刘壮;肖旭东;顾光一;贺凡;陈旺寿
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	薄膜太阳能电池退火装置至薄膜太阳能电池退火装置	法律状态
说明书摘要	一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，包括退火炉、多个加热壁及固定座。所述退火炉为中空结构，其内部为反应空间；所述多个加热壁间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；所述固定座为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。上述薄膜太阳能电池退火装置中，退火腔的空间较小，很容易达到硒或硫的饱和蒸汽压，防止硒或硫从基片中脱出，节省了硒或硫的用料。