专利详情

专利名称	游标狭缝式光电自准直仪
申请号	CN201220514909.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203011354U	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘爱敏;高立民;吴易明
主分类号	G01B11/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/26(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I
专利有效期	游标狭缝式光电自准直仪至游标狭缝式光电自准直仪	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪，包括在主光路上依次设置的单色光源（1）、多狭缝（2）、分光镜（3）、准直物镜（4）、可转动的平面反射镜（5）以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD（6），多狭缝（2）与线阵CCD（6）共轭；所述多狭缝（2）由多个平行单狭缝组成，各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等；以线阵CCD作为主尺，多狭缝（2）的像作为游标尺，游标尺与主尺满足游标细分原理。本实用新型可广泛应用于高精度小角度精度测试，反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。