专利详情

专利名称	包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统
申请号	CN201110427910.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103162832A	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	发明（设计）人	李国光;刘涛;赵江艳;郭青杨;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋
主分类号	G01J3/447(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/447(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I
专利有效期	包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统至包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供的一种包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一曲面反射镜、第一平面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明还提供一种光学测量系统。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪实现了分光后的光束的完整结合，在提高光通效率的同时，还能保持光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。