专利详情

专利名称	一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法
申请号	CN201110418928.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103160776A	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;葛芳芳;王博;王怀勇
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法至一种二硼化钛-镍涂层或薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种二硼化钛-镍涂层或者薄膜及其制备方法，其特征在于该涂层或者薄膜是以TiB2为主晶相，金属Ni为次晶相利用物理气相沉积技术原位复合而成的，其中TiB2含量为65-95at.％，Ni含量为5-35at.％；所述涂层或者薄膜的基板采用单晶硅、玻璃、高速钢、合金钢或者钛合金等，薄膜的厚度为20nm-1um；涂层的厚度为1um-1mm。本发明设计了一种新涂层材料体系，即原位合成的金属Ni增韧的TiB2涂层或者薄膜，涂层硬度高达25GPa以上，导电性能良好，同时具有良好的韧性和抗腐蚀、抗烧蚀性能及优异的摩擦、磨损性能，可以广泛应用于刀具、模具、电接触、防护等领域；并且制备工艺简单，生产周期短，成本低，便于大规模工业化生产。