专利详情

专利名称	宽带偏振光谱仪及光学测量系统
申请号	CN201110427603.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103162831A	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	发明（设计）人	李国光;吴文镜;刘涛;赵江艳;郭青杨;马铁中;夏洋
主分类号	G01J3/447(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/447(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I
专利有效期	宽带偏振光谱仪及光学测量系统至宽带偏振光谱仪及光学测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。